一种与衍射型长程轮廓仪中π阶跃位相板等效的光学结构

摘要

一种与衍射型长程轮廓仪中π阶跃位相板等效的光学结构属于光学元件检测领域，该光学机构包括：前棱镜系统、后棱镜系统和平行平板；前棱镜系统由一个负菲涅尔棱镜和一个的正菲涅尔棱镜组成，后棱镜系统相当于前棱镜系统光轴垂线的镜像，四片棱镜同光轴放置，平行平板放置在前后棱镜系统中间，位于光轴的上方或者下方，使分光后其中的一束光垂直穿过平行平板，平行平板的厚度为入射光波长二分之一的奇数倍。本发明没有衍射带来的分光、位相板相差π的界面的不平整以及相位板上π相位过渡区域相位变化所以引起的误差，其获得的探测光束用于LTP，能减小误差，并且获得更高的探测精度。