一种大功率半导体激光器腔面解理钝化方法

摘要

一种大功率半导体激光器腔面解理钝化方法，属于半导体光电子器件工艺技术领域。本发明的意义在于提高半导体激光器的出输出功率，在基本不改变半导体激光器前后腔面膜结构的情况下，提高大功率半导体激光器的COD阈值和寿命及稳定性。此方法是现在高真空的解理钝化镀膜机中解理半导体激光器bar条，然后直接在高真空中对半导体激光器bar条进行钝化，所用的钝化材料为SiN，目的在于减少解理半导体激光器bar条时在腔面产生缺陷，影响半导体激光器稳定性及寿命。此方法可以用大功率半导体激光器的生产和制造领域。