法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-01-20
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C04B35/468 申请公布日:20130925 申请日:20130609
发明专利申请公布后的驳回
2013-10-30
实质审查的生效 IPC(主分类):C04B35/468 申请日:20130609
实质审查的生效
2013-09-25
公开
公开
机译: 一种使铁电材料电去极化的方法及其在获得具有增强的介电强度的铁电材料中的应用。
机译: 等离子蚀刻由铁电材料,高介电常数材料或铂中的一种制成的膜的方法
机译: 等离子蚀刻由铁电材料,高介电常数材料或铂中的一种制成的膜的方法