法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-09-09
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B21D37/10 申请公布日:20131009 申请日:20130626
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-11-06
实质审查的生效 IPC(主分类):B21D37/10 申请日:20130626
实质审查的生效
2013-10-09
公开
公开
机译: 基板翘曲去除装置,基板翘曲检测单元,基板处理装置,方法以及存储介质的基板翘曲去除装置及方法
机译: 翘曲整平单元,翘曲整平装置,图像形成装置和翘曲整平处理程序
机译: 翘曲排序装置和使用该翘曲排序装置检查板翘曲的方法