一种用于薄膜太阳能电池的AZO薄膜绒面结构的制备方法

摘要

本发明公开了一种用于薄膜太阳能电池的AZO薄膜绒面结构的制备方法，包括如下步骤：(1)清洗玻璃基板，然后采用双频容性耦合等离子体放电技术对所述玻璃基板的表面进行刻蚀，使玻璃基板表面具有绒面结构；(2)采用磁控溅射技术在上述玻璃基板的绒面结构上沉积AZO薄膜，即可得到AZO薄膜绒面结构。实验证明，采用本发明的方法制备得到的薄膜太阳能电池的绒面结构的光线反射损失低于9%，完全满足太阳能电池对前电极陷光结构的要求。