法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-01-06
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C16/00 申请公布日:20130703 申请日:20111111
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-12-18
著录事项变更 IPC(主分类):C23C16/00 变更前: 变更后: 申请日:20111111
著录事项变更
2013-07-31
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/00 申请日:20111111
实质审查的生效
2013-07-03
公开
公开
机译: 具有多个部分的扩展反应器组件,用于在大基板上执行原子层沉积
机译: 具有多个部分的扩展反应器组件,用于在大基板上执行原子层沉积
机译: 具有多个部分的扩展反应器组件,用于在大基板上执行原子层沉积