用于通过分子间附着将两个晶片键合在一起的方法和装置

摘要

本发明提供一种通过分子间附着将第一晶片（202）键合到第二晶片（206）上的方法，所述方法包括，施加用于所述第一晶片（202）和所述第二晶片（206）之间的键合波的启动点（216），所述方法进一步包括，当所述键合波在所述第一晶片和所述第二晶片之间传播时，大体朝向所述键合波的启动点（216），在所述第一晶片（202）和所述第二晶片（206）之间喷射气体流（228）。本发明还提供了一种用于进行所述键合方法的键合装置（215）。