法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-12-09
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B24B57/02 申请公布日:20130821 申请日:20130515
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-09-18
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B57/02 申请日:20130515
实质审查的生效
2013-08-21
公开
公开
机译: 使用抛光液回收单元的桶抛光液过滤系统和该用于滚筒抛光机的抛光液回收装置
机译: 抛光液分配装置和具有该抛光液分配装置的抛光装置
机译: 抛光液体供应装置,抛光液体供应方法,抛光装置和制造半导体装置的方法