利用离子束溅射法制备微纳米结构薄膜的装置及方法

摘要

本发明提供了一种利用离子束溅射法制备微纳米结构薄膜的装置和方法，该装置包括离子束溅射装置和准直过滤装置，准直过滤装置与离子束溅射装置的样品架连接，准直过滤装置包括：圆盘、若干过滤网和多个圆环，圆盘的下表面与样品架连接，各圆环依次重叠设置在圆盘上表面，过滤网设置在各圆环之间。本发明能够有效提高微纳米结构薄膜的质量，在纳米集成回路领域具有重要的应用价值。