法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-14
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C14/46 授权公告日:20160413 终止日期:20190424 申请日:20130424
专利权的终止
2016-04-13
授权
授权
2016-04-13
授权
授权
2013-11-20
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/46 申请日:20130424
实质审查的生效
2013-11-20
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/46 申请日:20130424
实质审查的生效
2013-08-07
公开
公开
2013-08-07
公开
公开
查看全部
机译: 钛镍合金薄膜及利用多次溅射法制备钛镍合金薄膜的方法
机译: 钛镍合金薄膜及利用多次溅射法制备钛镍合金薄膜的方法
机译: 纯锡靶材料的掺氟氧化锡薄膜的制备及利用磁控溅射法的方法