基板电镀设备和基板电镀控制方法

摘要

于此公开了一种基板电镀设备，该设备包括：恒流装置，该恒流装置用于提供电力；阴极吊架，该阴极吊架包括多个固定基板的夹具、安装在多个夹具中的每个夹具上用于检测电流信息的霍尔电流传感器、以及与霍尔电流传感器连接的用于向外部无线传送电流信息的无线通信模块；电流轨道，安装了位于电镀槽之上的多个阴极吊架，并与所述恒流装置连接；以及阳极单元，该阳极单元从所述恒流装置延伸出来并且浸入电镀槽的电镀液中。