東京エレクトロン次世代めっき装置を製品化基板にウエハーレバルで高精度処理

摘要

東京エレクトロンは、ガラスやエポキシのパネル基板にウエハーレベルで高精度めっき処理ができる次世代めっき装置「ストラタス(Stratus) P500」を製品化した。先端パッケージングにおけるめっき処理の高度化が進み、試料表面にある大小凹凸(トポグラフィ)形状に対応。より高速かつ均一な埋め込みが可能となる同装置は、めっきが可能な面積を拡大し、生産性を3倍以上に高める。既に複数の顧客の工場で稼働している。