能够提高正向特性测试精度的功率二极管器件结构

摘要

本发明公开了一种能够提高正向特性测试精度的功率二极管器件结构，包括元胞、终端区，终端区设置于元胞的外围；所述器件的阴极由器件背面引出，器件阴极的上方为衬底，衬底的上方有外延区；器件阳极位于外延区的表面，器件阳极包括第一阳极、第二阳极两部分，第二阳极位于第一阳极内，第二阳极与第一阳极在电性上相对独立，各自有电极引出；第二阳极的面积小于第一阳极。本发明在第二阳极上施加一个很小的电流，所得到的电流密度等同于整个器件在施加额定电流下的电流密度，能够实现功率二极管器件正向特性的精确测试，从而降低了器件的自发热效应出现，并且降低了器件评价对于测试设备功率能力的需求。