公开/公告号CN110603472A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-20
原文格式PDF
申请/专利权人 卡尔蔡司显微镜有限责任公司;
申请/专利号CN201880028867.4
申请日2018-04-30
分类号
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人刘畅
地址 德国耶拿
入库时间 2024-02-19 18:13:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B21/00 申请日:20180430
实质审查的生效
2020-03-31
著录事项变更 IPC(主分类):G02B21/00 变更前: 变更后: 申请日:20180430
著录事项变更
2019-12-20
公开
公开
机译: 具有立体显微镜的视频显微镜系统,其具有立体变换器,用于该立体变换器的立体变换器及其在这种视频显微镜系统中的用途以及在这种视频显微镜系统中用于表示立体图像的方法
机译: 原子力显微镜系统,用于映射位于半导体器件中的一个或多个地下结构的方法,或用于在半导体器件中监测光刻参数以及使用这种原子力显微镜系统
机译: 原子力显微镜系统,用于在半导体器件中绘制一个或多个地下结构或用于监视半导体器件中的光刻参数的方法以及此类核电显微镜系统的用途