使用结合了间隔元件的工具进行微型结构元件的成型

摘要

本发明涉及一种通过复制来制造多个元件的方法，包括提供包括多个复制区域的复制工具的步骤，该复制区域具有界定元件形状的凹陷结构特征，该工具进一步包括多个第一间隔部分；提供基底，将工具相对基底移动，同时塑性可变形的或粘性的或液态的复制材料位于工具和基底之间；硬化复制材料以形成元件，其中将工具相对基底移动的步骤包括施加预定的作用力以便将工具相向基底移动，直至第一间隔部分定位在远离基底一定距离的地方，所述距离由所述作用力的量决定，同时复制材料保留在第一间隔部分和基底之间。