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用于在连续式设备中进行液体液位调节的方法和装置

摘要

本发明涉及一种在以液体为基础的单侧处理平坦物体期间允许精确维持衬底和液体表面之间期望的相对垂直距离的方法以及一种适合于此的装置。该方法包括步骤:借助于调节设备比较与当前的垂直距离相关的液位实际值和与期望的垂直距离相关的液位理想值,在偏离液位理想值时,调节设备生成理想调整值以用于达到液位理想值,调节设备将理想调整值传送给用于控制相对垂直距离的设备。该方法的特征在于,根据平坦物体的同时接触在处理池中的液体的总表面积求得液位实际值。本发明的装置包括调节设备、用于控制相对垂直距离的设备以及用于检测和/或确定平坦部件的同时接触处理池中液体的总表面积和/或用于检测和/或确定处理池中的平坦物体的数量的机构。

著录项

  • 公开/公告号CN102955480A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2013-03-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 睿纳有限责任公司;

    申请/专利号CN201210308583.5

  • 发明设计人 拜尔·马库斯;

    申请日2012-08-27

  • 分类号G05D9/12;

  • 代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;

  • 代理人张春水

  • 地址 德国居滕巴赫

  • 入库时间 2024-02-19 17:18:13

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-07-22

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G05D9/12 申请公布日:20130306 申请日:20120827

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2013-04-03

    实质审查的生效 IPC(主分类):G05D9/12 申请日:20120827

    实质审查的生效

  • 2013-03-06

    公开

    公开

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