基于微/纳米周期结构的荧光增强微阵列生物芯片及其制备方法

摘要

本发明涉及一种基于微/纳米周期结构的荧光增强微阵列生物芯片及其制备方法，该芯片基于表面等离激元共振增强荧光技术的微/纳米周期结构作为微阵列生物芯片基底材料。在玻璃或/和高分子衬底上加工一系列微/纳米周期结构：周期400-800nm，深度为20-100nm，继以沉积多层功能薄膜，使其具有表面等离激元共振耦合增强荧光作用。基底上的生物分子微阵列分析的荧光信号强度和灵敏度被提高约10倍，这种微/纳米周期结构有潜力成为全新的低成本、高通量、超灵敏的微阵列生物芯片基底材料。其特点是：将表面等离激元共振增强荧光与微阵列生物芯片技术结合，结构简单，取材灵活多样，适合大批量生产和高通量检测。