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光化射线敏感或辐射敏感树脂组合物,由其形成的光化射线敏感或辐射敏感膜以及使用该组合物形成图案的方法

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本发明提供一种光化射线敏感或辐射敏感树脂组合物，其包含(A)当与酸作用时分解从而增加其在碱性显影剂中的溶解度的树脂，(B)

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公开/公告号CN102870046A

专利类型发明专利
公开/公告日2013-01-09

原文格式PDF
申请/专利权人富士胶片株式会社;
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申请/专利号CN201180021813.3
发明设计人山本庆;藤田光宏;松田知树;
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申请日2011-12-22
分类号G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人牛海军
地址日本国东京都
入库时间 2024-02-19 17:04:01

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-08-13

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F7/004 申请公布日:20130109 申请日:20111222

发明专利申请公布后的视为撤回
2013-01-09

公开

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