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一种用于硅片注入工艺的硅片夹

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摘要

本发明公开了一种用于硅片注入工艺的硅片夹，主要包括：底片1、硅片2、转动块3、铆钉4、定位弹簧片5等。该装置特征在于，底片1直径大于硅片2，使用转动块3将硅片2固定在底片2的凹槽内，定位弹簧片5分别可以定位在两个不同的位置。说明书对装置工作原理进行了详细的说明，并给出了具体的实施方案。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-02-01

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/683 申请公布日:20130109 申请日:20110705

发明专利申请公布后的视为撤回
2014-06-25

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/683 申请日:20110705

实质审查的生效
2013-01-09

公开

公开

1. 一种用于硅片注入工艺的硅片夹 [P] . 中国专利： CN102867770A . 2013-01-09
2. 一种用于卡夹硅片的卡盘销及用于保持硅片的装置 [P] . 中国专利： CN112185885A . 2021-01-05
3. 'A DEVICE FOR DRYING/CURING OF SCREEN PRINTED PATTERNS ON SILICON WAFERS IN A CONVENTIONAL DRYING BELT FURNACE PREVENTING THE SILICON WAFERS FROM DIRECT CONTACT WITH THE BELT TO ELIMINATE CONTAMINATION OF THE WAFERS' [P] . IN2013KO00637A . 2014-12-05

机译： “一种用于在传统干燥带式炉中干燥/固化硅片上筛网图案的装置，以防止硅片直接与带接触，从而消除硅片的污染”
4. A device with a receiver for reception of a plate-like workpiece (9), especially a silicon wafer, useful in semiconductor technology e.g. for dealing with silicon wafers [P] . 德国专利： DE202004007917U1 . 2004-07-22

机译：一种具有接收器的装置，该接收器用于接收板状工件（9），特别是硅晶片，可用于半导体技术，例如半导体。用于处理硅片
5. A device for protect a surface of a lenticular element, in general, and a silicon wafer, in particular, while the other surface - latter is subjected to a chemical treatment. [P] . 法国专利： FR2566682B1 . 1989-12-15

机译：通常，一种用于保护双凸透镜元件的表面的装置，特别是用于保护硅晶片的硅片，而另一表面-对其进行化学处理的装置。