法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-07-06
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):E21B43/26 申请公布日:20130102 申请日:20120924
发明专利申请公布后的驳回
2013-02-13
实质审查的生效 IPC(主分类):E21B43/26 申请日:20120924
实质审查的生效
2013-01-02
公开
公开
机译: 在凹部的底表面上形成厚的氧化物层,并且在凹部的周壁上形成薄的氧化物层,这涉及将惰性气体注入到底表面中并且通过热氧化工艺对基板进行热处理。
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