物体交换装置、物体处理装置、平板显示器的制造方法、元件制造方法、物体交换方法、以及物体处理方法

摘要

为了缩短基板交换所耗费的时间，物体交换装置具备：第一支承部(68)，其支承物体(P1)的第一面；第二支承部(152)，其从所述第一支承部接收所述物体，并支承所述物体的与所述第一面不同的第二面；以及驱动部(43)，其对将所述物体交接到了所述第二支承部的所述第一支承部(68)，向与所述物体不同的其他物体(P2)被搬入至所述第一支承部的物体交换位置进行驱动。