基于多纵模自混合效应的双正交平面镜外入射型角度传感测量装置及方法

摘要

本分案申请涉及光学测量技术领域，尤其涉及一种基于多纵模自混合效应的双正交平面镜外入射型角度传感测量装置及方法，该装置包括多纵模激光器、传感单元、振动目标、滑动装置、分束器、光电探测器、信号预处理单元和信号处理单元；所述传感单元包括并排设置的第一转盘、第二转盘、T型传动支架、第一相交平面镜、第二相交平面镜、正交反射镜、反射镜传动支架。本装置结构简单、体积小、成本低，能够实现非接触实时高精度测量，传感单元为无源光学传感器,本身无需供电，并且测试装置光路为单光路，受环境干扰小且结构简单、调节光路方便。