公开/公告号CN102921597A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-02-13
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院自动化研究所;
申请/专利号CN201210457045.2
申请日2012-11-14
分类号B05C5/00;
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人宋焰琴
地址 100190 北京市海淀区中关村东路95号
入库时间 2024-02-19 16:35:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-04-13
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B05C5/00 申请公布日:20130213 申请日:20121114
发明专利申请公布后的驳回
2013-03-20
实质审查的生效 IPC(主分类):B05C5/00 申请日:20121114
实质审查的生效
2013-02-13
公开
公开
机译: MEMS装置,液体点胶头,液体点胶装置,MEMS装置的制造方法,液体点胶头的制造方法,以及液体点胶装置的制造方法
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