一种基于共振腔的光发射--四象限光探测集成芯片

摘要

一种基于共振腔的光发射‑‑四象限光探测集成芯片，属于半导体光电子领域。包括四象限光探测区域,光发射区,四象限光探测区的接触电极,光发射区的接触电极,四象限光探测区的压焊电极，光发射区的压焊电极，将光发射区以及各四象限光探测区之间相互隔离的隔离层。本发明是将光发射区和光探测区集成在一块芯片上，模块体积小；光发射区和探测区具有相同的谐振腔和有源区，提高了对光的探测效率和抗干扰能力；由于芯片采用了共振腔结构，四象限光探测区的有源区厚度远小于传统PIN结构有源区的厚度，光生载流子渡越有源区的时间大为降低，提高了探测器的响应速度。