基于DCNN的晶圆图故障模式识别方法及系统

摘要

本发明公开了一种基于DCNN的晶圆图故障模式识别方法及系统，对晶圆图进行转换处理，将彩色图转换为64×64的灰度图，并建立数据库，使用中值滤波方法对图像进行去噪并保护图像中的细节，增强所述灰度图的特征，然后随机提取所述数据库中的80％的数据以生成训练数据集，剩余的20％的数据作为测试数据集，将所述训练数据集通过输入层导入晶圆图故障模式识别系统中的DCNN模型，训练DCNN模型，使用训练的DCNN模型对所述测试数据集进行分类，使用混淆矩阵来显示结果，提高对晶圆图故障模式识别分类的准确度。