法拉第杯组件及其离子束注入角度的测量方法、装置

摘要

一种法拉第杯组件，所述法拉第杯组件包括堆叠放置的前置板以及法拉第部件，所述前置板与所述法拉第部件相互平行设置且具有预设间距，所述前置板与所述法拉第部件在保持间距不变的状态下可相对平移；其中，所述前置板具有多个孔洞，每个孔洞穿通所述前置板；所述法拉第部件内具有多个法拉第杯，每个法拉第杯具有开口，多个法拉第杯的开口的朝向相同，且所述开口与所述孔洞一一对应。本发明方案可以准确地确定离子束的实际注入角度。