声明
摘要
1.1 论文的研究背景及意义
1.2 国内外研究现状分析
1.2.1 激光干涉位移测量方法现状
1.2.2 位移测量补偿方法研究现状
1.3 论文的研究内容及组织结构
第二章 测量系统的方案设计及理论分析
2.1 基于法拉第效应的逆返方法测量原理
2.2 系统方案设计
2.3 系统测量原理与分析
2.3.1 角度误差测量分析
2.3.2 角度误差对位移测量的影响及补偿
2.4 测量系统机械结构设计
2.5 本章小结
第三章 信号处理系统的研制
3.1 系统信号处理总体方案设计
3.2 激光外差干涉信号处理方法及实现
3.2.1 大数相位测量
3.2.2 小数相位测量
3.2.3 大小数相位结合
3.2.4 基于FPGA信号处理板的实现
3.3 光束位置探测信号处理方法及实现
3.3.1 位置敏感探测器原理及信号处理
3.3.2 光斑位置探测模块的实现
3.4 系统软件设计
3.5 本章小结
4.1 转角误差的解耦与测量
4.2 转角误差测量范围分析
4.2.1 偏摆角误差和俯仰角测量范围理论分析
4.2.2 仿真分析
4.3 转轴中心的影响分析
4.4 不确定度分析与评定
4.5 本章小结
第五章 实验测试与分析
5.1 激光外差干涉信号处理方法验证实验的构建
5.1.1 大数相位测量计数验证实验
5.1.2 大小数结合验证实验
5.2 角度误差补偿式位移测量系统的构建
5.3 角度测量对比实验与分析
5.4 角度误差补偿式位移测量方法验证实验及分析
5.5 角度误差补偿式位移测量方法应用实验及分析
5.6 本章小结
6.1 总结
6.2 主要创新点
6.3 展望
参考文献
致谢
攻读学位期间的研究成果