基于光神经网络的超精密位移测量系统及方法

摘要

本发明公开了一种基于光神经网络的超精密位移测量系统。该系统包括：光源、光学位移测量器件、光神经网络、探测器阵列、信号处理器件，当目标物体发生运动时，系统将光学位移测量器件输出的测量光信号作为信号输入，通过光神经网络处理后利用探测器阵列接收，最后经过信号处理器件转化为目标物体的位移信息。本发明还公开了一种采用基于光神经网络的超精密位移测量方法。本发明利用光神经网络对测量光信号处理可直接实现目标物体位移的测量，无须电子信号的鉴相过程，响应速度极快，尺寸可缩放，能量利用率高，适用于速度快，动态性能要求高的超精密测量场合。该系统还可通过增加输入测量光信号及探测器阵列数实现目标物体的多自由度位姿测量。