一种可分步实现微纳米压印光刻的体系

摘要

本发明涉及一种可分步实现微纳米压印光刻体系，该体系可以将压印与固化分开进行。具体是将一种或几种长链有机烯类小分子、双官能或三官能交联剂和光引发剂均匀混合。将液态混合体系涂覆于基材上并降温使之结晶，从液态转变为蜡状或膏状固态。将模具置于体系上，以一定力向下压，使体系形成图案，去除模具后，由于体系处于固体状态，图案仍能够保持。对体系进行紫外光照射，图案固化交联。此种反应体系可以进行低温固态光聚合，因此在图案化过程中可以实现，压制图案与体系固化分步进行，因此无需透明模具，拓展了模具的材料范围，并且解决了实际生产过程中，大尺寸模具制备困难的问题。另外，该体系在聚合过程中体积收缩减小，氧阻聚低，可制备较高尺寸精度的图案。