退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
公开/公告号CN110607498A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-24
原文格式PDF
申请/专利权人 上海大学;
申请/专利号CN201910905251.7
发明设计人 吕文来;陈飞;张金仓;
申请日2019-09-24
分类号C23C14/04(20060101);
代理机构31253 上海精晟知识产权代理有限公司;
代理人姜杉
地址 200444 上海市宝山区上大路99号
入库时间 2024-02-19 15:25:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-17
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/04 申请日:20190924
实质审查的生效
2019-12-24
公开
机译: 高精度元件对准传感器系统(高精度组件对准传感器系统)
机译:残留硬掩膜导线对带有分立底栅的薄膜轮廓工程ZnO薄膜晶体管性能的影响
机译:通过自对准掩膜对生物医学应用的CMOS芯片进行晶圆级集成
机译:使用掩膜对准器的闪光压印光刻:一种在光敏水凝胶中印刷纳米结构的方法
机译:一种新型光学对准系统,可用于高精度芯片芯片安装的精确调平调节
机译:在透明大面积塑料基板上制造的非晶态水合硅薄膜晶体管的极低温材料和自对准技术
机译:通过数字全息显微镜高通量表征薄膜材料库中的薄膜厚度
机译:具有腔结构的芯片尺寸组件的自组装:高精度对准和不需热压缩的直接键合即可实现异质集成
机译:薄膜CdTe光伏材料的高通量制造;最终分包合同报告,1993年11月16日至1998年12月31日