一种基于激光诱导光热效应的多模式扫描显微镜成像系统

摘要

本发明公开了一种基于激光诱导光热效应的多模式扫描显微镜成像系统，包括从前往后顺次设置的泵浦光源、泵浦光调制装置、第一分束合束器，第二分束合束器，显微成像透镜、用于驱动待测样品移动的样品扫描运动装置，设置于第一分束合束器前端的探测光源，固定于切换机构上的探测光空间滤光器，以及位于探测光空间滤光器后端的光电探测器；切换机构带动探测光空间滤光器移入或移出第二分束合束器和光电探测器之间。本发明包含了激光诱导反射率显微成像和激光诱导表面热透镜显微成像两种观察模式，对不同样品的吸收分布、热导率、掺杂浓度、掺杂深度等多个参数进行检测分析，大大拓宽了光热显微成像系统的应用范围。