一种高灵敏度自供电加速度传感器及其制备方法

摘要

一种高灵敏度自供电加速度传感器，包括绝缘外壳和设置于绝缘外壳内的传感系统，传感系统包括第一电极层、第二电极层、第一摩擦层、第二摩擦层；的第一电极层附着在第一摩擦层的下表面，第一电极层的下表面设有第一电极引线点及由第一电极引线点向外引出的第一导线；第二电极层附着在第二摩擦层的上表面，第二电极层的上表面设有第二电极引线点及由第二电极引线点向外引出的第二导线；第二电极层的上表面连接有绝缘层，绝缘层的上方设置有质量块；第一摩擦层和第二摩擦层均呈拱状且方向相反，第一摩擦层上附着有正电序列摩擦层，第二摩擦层与正电序列摩擦层的电序列相反并在质量块的带动下可与正电序列摩擦层接触分离。