公开/公告号CN110512172A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-11-29
原文格式PDF
申请/专利权人 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司;
申请/专利号CN201810491110.0
申请日2018-05-21
分类号C23C14/04(20060101);C23C14/12(20060101);C23C14/24(20060101);H01L51/56(20060101);
代理机构44334 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司;
代理人刘永辉;徐丽
地址 518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
入库时间 2024-02-19 15:16:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-24
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/04 申请日:20180521
实质审查的生效
2019-11-29
公开
公开
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