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蒸镀遮罩的制造方法及有机发光材料的蒸镀方法

摘要

本发明提供一种蒸镀遮罩的制造方法,包括:提供一基体,所述基体包括塑料膜;将静电保护膜设置于所述塑料膜的一表面;将结合有所述静电保护膜的基体施加张力并固定在一框架上;蚀刻所述塑料膜,在所述塑料膜上形成至少一个开口;去除所述静电保护膜,形成蒸镀遮罩。本发明的蒸镀遮罩的制造过程中不仅可以防止水汽和防止刮伤,在蚀刻形成开口的过程中,更好地避免基体的移动,并且能够带走蚀刻过程中的颗粒(碎片),以此制造的显示面板效果更优。

著录项

  • 公开/公告号CN110512172A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-11-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201810491110.0

  • 发明设计人 陈英杰;水野康宏;

    申请日2018-05-21

  • 分类号C23C14/04(20060101);C23C14/12(20060101);C23C14/24(20060101);H01L51/56(20060101);

  • 代理机构44334 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司;

  • 代理人刘永辉;徐丽

  • 地址 518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号

  • 入库时间 2024-02-19 15:16:43

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-12-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/04 申请日:20180521

    实质审查的生效

  • 2019-11-29

    公开

    公开

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