具有第一级双稳态双通阀和第二级微型阀的两级流体控制阀

摘要

一种两级流体控制阀，包括：第一级电子可切换的双稳态双通阀，其可在打开位置和无泄漏关闭位置之间移动；和第二级微型阀，其配置成当所述第一级电子可切换的双稳态双通阀处于打开位置时控制通过两级流体控制阀的流体出口的流体流动。所述电子可切换的双稳态双通阀设置在所述第二级微型阀和两级流体控制阀的流体入口之间。