公开/公告号CN110168697A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-23
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201780082722.8
发明设计人 安德烈亚斯·克洛佩尔;安德烈亚斯·洛普;
申请日2017-01-13
分类号H01J37/32(20060101);H01J37/34(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2024-02-19 14:44:26
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/32 申请日:20170113
实质审查的生效
2019-08-23
公开
公开
机译: 用于涂覆基板的溅射沉积设备和用于执行溅射沉积工艺的方法
机译: 用于涂覆基板的溅射沉积设备和用于执行溅射沉积工艺的方法
机译: 配置为在基板上执行溅射沉积的设备,配置为在基板上执行溅射沉积的系统以及在基板上执行溅射沉积的方法