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刘安强; 袁建鹏; 谢建刚;
矿冶科技集团有限公司 北京100160;
北京市工业部件表面强化与修复工程技术研究中心 北京 102206;
特种涂层材料与技术北京市重点实验室 北京 102206;
磁控溅射; TiAlN薄膜; 工艺参数; 显微组织; 耐腐蚀性;
机译:微观结构和表面形貌对高功率脉冲磁控溅射沉积银薄膜的电性能的影响
机译:Ag-Cu纳米粒子对直流磁控溅射沉积医学用TiAlN(Ag,Cu)涂层的微观结构和杀菌性能的影响
机译:沉积时间对由反应性DC磁控溅射沉积的TiAln薄膜结构的影响
机译:研究ha和铬的添加对沉积在镍基高温合金上的直流磁控溅射β-镍-铝粘结涂层的微观结构和短期氧化性能的影响。
机译:薄膜微结构性能和工艺条件的组合优化:迭代纳米级搜索自组装TiAlN纳米薄片
机译:功率变化对射频磁控溅射沉积HgCdTe薄膜微观结构和表面形貌的影响
机译:磁控溅射工艺参数对非晶碳薄膜电性能的影响
机译:通过原子层沉积来沉积TIALN的方法以及使用通过该方法形成的TIALN薄膜的半导体器件的电介质全电容器
机译:TiAlN改良原子层沉积法形成低电阻TiAlN薄膜电极的方法
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