高温加载下测量薄膜光学常数及形貌参数的装置及方法

摘要

本发明属于光学测量相关技术领域，并具体公开了一种高温加载下测量薄膜光学常数及形貌参数的装置及方法。所述装置包括光学常数测量模块和高温加热模块，高温加热模块包括高温加热腔、石英玻璃窗、高温加热台、高温台控制器以及气体流道单元，光学常数测量模块包括入射光路单元和反射光路单元。所述方法包括根据校准的椭偏参数获取样品的真实椭偏参数，并根据样品的光学常数参数化模型和正向光学模型获取样品光学常数以及形貌参数。本发明可在较宽的热温度范围内校准不同加热温度下石英玻璃窗所引入的椭偏参数偏差，并构建还原性的测量气体氛围，使得本发明装置能够更准确的测量得到待测样品的光学常数以及形貌参数。