公开/公告号CN110325909A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-10-11
原文格式PDF
申请/专利权人 卡尔蔡司SMT有限责任公司;
申请/专利号CN201880013737.3
发明设计人 C.布莱辛-班格特;
申请日2018-02-06
分类号
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人王蕊瑞
地址 德国上科亨
入库时间 2024-02-19 14:39:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F1/84 申请日:20180206
实质审查的生效
2019-10-11
公开
公开
机译: 用于针对从第一环境到第二环境的EUV范围的光刻掩模的测量数据转换的方法和装置
机译: 用于将EUV范围的光成像掩模的测量数据从第一周围环境转换为第二周围环境的方法和装置
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