一种不同设备间样品的原位观察及测试方法

摘要

本申请公开了一种不同设备间样品的原位观察及测试方法，依次包括如下步骤：S1待测样品做标记点，在不影响检测位置的所述待测样品边缘，分别作一个点、二个点和三个点的压痕作为标记处，以每个所述标记处靠近所述待测样品中心的点作为标记点；S2将所述待测样品放入设备A中，找到所述标记点并记录坐标，同时记录下特征测试点坐标；S3将所述待测样品放入设备B中，找到所述标记点并记录坐标；S4通过计算得出在所述特征测试点在设备B的坐标；S5输入所述特征测试点在设备B的坐标，找到所述特征测试点进行原位观察及测试。本发明的优点在于实现了同一样品在不同设备间的原位观察及测试。