一种三自由度宏微运动并联结构装置及控制方法

摘要

本发明公开了一种三自由度宏微运动并联结构装置及控制方法，包括机械本体部分、检测部分及控制部分；机械本体部分包括气浮平台、平台静基座、微动平台、驱动微动平台宏动运动的宏动支链、驱动微动平台精密微运动的微动支链，检测部分包括光栅位移传感器、光谱共焦式位移传感器及短量程激光测距传感器，控制部分包括音圈电机伺服放大器、直线精密单元伺服放大器、运动控制卡、数据采集卡及计算机。本发明音圈直线电机的宏动运动保证轨迹跟踪和运动范围，直线精密驱动单元驱动的微动运动实现高精度定位控制，宏动和微动集成解决大行程与高精度的矛盾，在较大工作空间内实现高精度定位控制。