一种纳米压印模板、其制备方法及纳米压印方法

摘要

本发明提供了一种纳米压印模板、其制备方法及纳米压印方法。所述纳米压印模板包括功能区和非功能区；所述非功能区分为第一非功能区和第二非功能区，所述第一非功能区围绕所述功能区并与所述功能区相邻，所述非功能区上除去第一非功能区的区域为第二非功能区；所述第一非功能区的高度高于所述功能区和所述第二非功能区的高度。所述纳米压印模板是在现有的纳米压印凹模板的基础上进行整形得到。相较于现有的纳米压印凹模板，本发明提供的纳米压印模板在保证模板强度的同时，能够降低压印压力，提高图案转移质量，提高压印良率，延长模板寿命。