法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20190422
实质审查的生效
2019-09-10
公开
公开
机译: 半导体晶圆加工研磨,一种电子元件的组装方法,包括处理晶圆,直到晶圆比转子板薄,厚度比层厚为止,并在晶圆上排上凹口以保护晶圆
机译: 电子和微电子学中使用的半导体晶圆生产包括将半导体晶圆与单晶分离,机械加工晶圆,蚀刻,精细研磨和抛光
机译: 晶圆检查夹具,半导体晶圆检查设备以及晶圆级芯片尺寸封装的制造设备