位置偏移量获取装置、检查装置、位置偏移量获取方法及检查方法

摘要

在位置偏移量获取装置(41)的图像分割部(411)中，分割两个图像中的一个图像来获取分割区域组。适应性区域确定部(412)求出各分割区域相对于获取两个图像间的位置偏移量的偏移量获取处理的适应度，根据分割区域组确定出适于偏移量获取处理的多个适应性区域。位置偏移量获取部(413)在各适应性区域中，进行两个图像间的偏移量获取处理，从而获取该适应性区域的位置偏移量。位置偏移量计算部(414)对于分割区域组中不包含于多个适应性区域的非适应性区域，根据多个适应性区域的位置偏移量、及该非适应性区域与多个适应性区域的位置关系，来求出位置偏移量。由此，可精度良好地求出两个图像中各分割区域的位置偏移量。