废液回收系统、化学浴沉积装置及其沉积方法

摘要

一种废液回收系统(200)、化学浴沉积装置(300)及其沉积方法，废液回收系统(200)包括：废液储存槽(202)，用于储存硫化镉沉积槽沉积产生的废液；制冷装置(203)，用于对储存的所述废液制冷；过滤装置(204)，用于过滤制冷得到的废液；化学液储存槽(205)，用于储存过滤后的废液。废液回收系统(200)、化学浴沉积装置(300)及其沉积方法，通过对废液进行制冷、过滤，再补充化学品原料，从而得到与原液浓度相同的化学液，从而显著提高了废液的回收利用，降低了生产成本。