光点差分式非接触式元件厚度测量的光头、厚度测量装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种光点差分式非接触式元件厚度测量的光头、厚度测量装置及测量方法。光头的光学系统包括光源、分光镜、第一聚光镜、柱面镜和相机；光源发出的光束经分光镜后，一部分光经过第一聚光镜聚成测量光点、落在被测元件表面；测量光点在被测元件表面反射，沿原光路返回，依次经过第一聚光镜、分光镜和柱面镜后，被聚焦形成相互垂直的X方向的焦线和Y方向的焦线，且在X方向的焦线和Y方向的焦线之间，形成呈中心对称的像点，相机设在像点处。本发明可实现各种类型待测元件厚度的非接触式测量，准确度高，结构简单；能方便准确找到被测透镜的中心，从而测出中心厚度；同时还能识别被测透镜是否倾斜；进一步，方便了安装、简化了测量、防止了污染。