用于DC参数测试的垂直式超低漏电流探针卡

摘要

根据本发明的一实施例的探针卡的特征在于，包括：多个探针，用于与试验体相接触并传输电信号；探针PCB，形成有用于向所述多个探针分配并传输电信号的信号布线；第一导向板，与所述试验体相对布置，且形成有供所述多个探针的各一端插入的多个探针孔；及第二导向板，与所述第一导向板平行布置，且形成有供所述多个探针的各另一端插入的多个探针孔，其中，在所述探针PCB上的信号布线和所述多个探针的各另一端通过同轴电缆直接电连接。