公开/公告号CN110148796A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-08-20
原文格式PDF
申请/专利权人 广东天劲新能源科技股份有限公司;
申请/专利号CN201910480567.6
申请日2019-05-31
分类号H01M10/0587(20100101);H01M2/02(20060101);
代理机构44357 深圳市深联知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人黄立强
地址 518000 广东省深圳市龙华新区观澜街道陂头吓社区诚光工业园2号
入库时间 2024-02-19 13:03:53
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-13
实质审查的生效 IPC(主分类):H01M10/0587 申请日:20190531
实质审查的生效
2019-08-20
公开
公开
机译: 用于半导体加工设备中具有热膨胀差异的材料之间连接的密封装置和方法
机译: 半导体加工系统中用于连接热膨胀差异较大的材料的密封装置和方法
机译: 用于半导体加工设备的密封装置和方法可以用于桥接具有不同热膨胀系数的材料