一种基于碳化后超声处理的钛基金刚石涂层结合力增强方法

摘要

一种基于碳化后超声处理的钛基金刚石涂层结合力增强方法，其特征是它的主要步骤有：首先使用砂纸打磨钛衬底表面以去除表面氧化层和油污，之后超声清洗衬底表面，其次采用喷砂机对衬底表面进行喷砂处理，之后采用化学气相沉积设备对衬底进行碳化处理，然后对碳化后的衬底置于金刚石微粉丙酮悬浊液中超声震荡，最后，将超声清洗并吹干后的钛衬底置于化学气相沉积设备中进行金刚石涂层制备。本发明工艺简单，操作容易，且相对于传统喷砂后随即超声震荡预处理等方法，膜基结合性能得到了明显改善。