一种钛基掺硼金刚石涂层的制备方法

摘要

本发明涉及一种钛基掺硼金刚石涂层的制备方法，包括(1)Ar、C离子轰击在钛表面形成TiC，避免钛氢合金层形成；(2)在TiC上沉积过渡层SiC以利于金刚石形核；(3)形核阶段用强磁场约束H离子，在工件表面获得较高的C/H比。同时辅以Ar、C离子轰击，使SiC表面金刚石相择优形成；(4)沉积阶段降低磁场强度，减少磁场对H离子的束缚，达到降低工件表面C/H比的目的，有利于掺硼金刚石涂层生长。本发明提供的方法在掺硼金刚石形核前，通过离子轰击避免脆性相钛氢合金层形成。在形核过程中以富C离子轰击，择优生成金刚石相，从而在钛基工件表面获得结合力强、金刚石相含量高的掺硼金刚石涂层。