法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-15
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/27 申请日:20180306
实质审查的生效
2019-09-13
公开
公开
机译: 微波等离子体喷嘴阵列的配置方法,微波等离子体喷嘴阵列单元和微波等离子体系统
机译: 微波等离子体处理装置,微波等离子体处理装置的电板以及微波等离子体处理装置的馈电方法
机译: 将基板暴露于表面微波等离子体的方法,蚀刻方法,沉积方法,表面微波等离子体产生装置,半导体基板蚀刻装置,半导体基板沉积装置和微波等离子体产生天线组件